ESS 4800-0

Brief

本課程旨於介紹奈微米系統科技之基本原理、微尺度及奈米尺度之物理現象、相關奈微系統製造方式，三個重要的微系統應用領 域:光學微機電系統、生醫微機電/奈微熱流系統、和射頻微機電系統，以及奈米科技於先進光電、生醫、能源系統上之跨領域應 用與未來趨勢。

Description

Course keywords: 微機電系統, 奈米科技, 奈微熱流系統, 奈米材料科技, 奈維米生醫系統, 奈米製程及檢測 課程講授: 國立清華大學工程與系統科學系曾繁根、蘇育全、王本誠教授 時間: W789, Place: ESS 406 目標: 本課程旨於介紹奈微米系統科技之基本原理、微尺度及奈米尺度之物理現象、相關奈微系統 製造方式，三個重要的微系統應用領域:光學微機電系統、生醫微機電/奈微熱流系統、和射頻微機 電系統，以及奈米科技於先進光電、生醫、能源系統上之跨領域應用與未來趨勢。 背景課程: 建議曾修習材料科學導論及電子電路學相關課程 課程大綱: Part I 微系統科技 (曾繁根教授) 1. 微機電系統科技簡介 2. 尺度分析 3. 光學微機電系統之應用 4. 射頻微機電系統之應用 5. 生醫微機電系統-微生醫分析檢測系統 6. 期中考I Part II 奈米系統科技(蘇育全教授) 1. 奈米等級製程及檢測技術 2. 奈米電子系統簡介 3. 奈米光電及磁系統簡介 4. 奈米能源及機電系統簡介 5. 期中考II Part III 先進奈米材料科技 (王本誠教授) 1. 奈米材料科技簡介 2. 分子自組裝及介面技術之基本原理 3. 由奈米等級向上建造之新型奈米系統 4. 奈米生醫系統簡介Bio-Nanotechnology 5. 奈米材料在光電、生醫、能源等先進系統之應用 6. 期末考 Textbook: 奈微米系統工程原理課程講義

Timetable

Scores

Average Percentage 81.27

Std. Deviation 5.41

Remarks

Restrictions

Compulsory

Elective

Cross Discipline

First Specialization

Second Specialization